Confocal Sensor光譜共焦
專用於測量晶圓半導體材料，包括 Si，SiC，藍寶石，GaS，GaN，玻璃，石英 以及許多其他透明和不透明基板，厚度，翹曲；
塑膠/玻璃等透明材料的平面度/平行度/厚度/曲面輪廓度；
陶瓷/塑膠/金屬等非透明材料的平面度/曲面輪廓度
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