Confocal Sensor光譜共焦
專用於測量晶圓半導體材料,包括 Si,SiC,藍寶石,GaS,GaN,玻璃,石英 以及許多其他透明和不透明基板,厚度,翹曲;
塑膠/玻璃等透明材料的平面度/平行度/厚度/曲面輪廓度;
陶瓷/塑膠/金屬等非透明材料的平面度/曲面輪廓度
量測範例連結影片
https://youtu.be/7PzYyMF4D10
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