Confocal Sensor光谱共焦
专用于测量晶圆半导体材料，包括 Si，SiC，蓝宝石，GaS，GaN，玻璃，石英 以及许多其他透明和不透明基板，厚度，翘曲；
塑料/玻璃等透明材料的平面度/平行度/厚度/曲面轮廓度；
陶瓷/塑料/金属等非透明材料的平面度/曲面轮廓度
量测范例链接影片
https://youtu.be/7PzYyMF4D10
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