【奈米精度】与【速度】因应奈米新世代的检测需求
nm 3D奈米扫描
1. 奈米深度3D检测
2. 高速/无接触量测
3. 表面形状/粗糙度分析
4. 非透明/透明材质皆适用
5. 非电子束/非雷射的安全量测
6. 低维护成本
奈米精度:追求原貌重现的追溯性量测与分析
奈米3D显微形貌快速呈现, 相移垂直扫描专利技术, 使深度分辨率达0.1 nm
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