光學檢測系列

G6540探針卡專用檢查機

G6540探針卡專用檢查機

詳細介紹

G6540探針卡專用檢查機

 專為探針卡、半導體晶圓、電子品檢打造的高精密光學儀器
NIS Optics 無限遠色差校正光學系統
0.1 um Z軸微調高精度微米級對焦
Sensor 雷射極限安全裝置

探針卡專用檢查機

尖端視覺光學系統OPTICS

  • 光學系統 : 搭載先進 無限遠色差校正光學系統,徹底消除光學相差
  • 平場目鏡 : 配備超高解析視野平場目鏡 10X / 25mm,貼心具備視度可調功能
  • 超長工作距離物鏡 : 標配專業級消色差金相物鏡:5X、10X、20X、50X,全方位覆蓋微觀檢查需求

精密機構MECHANICS

  • 量測尺寸: 650x400x150mm
  • 微調精度 : 達到極致微米級 0.0001mm 微調對焦精度
  • 機構設計:全機00及花崗岩設計,花崗岩基座+花崗岩移動平台
  • 防震設計:四組水平調整防震腳座,防低頻震動傳導
  • ProbeCard專用花崗岩平行塊420x40x30mm

電子防護ELECTRONICS

  • Z軸控制:採精密電控設計3速快/中/慢,量測重複性達0.1um
  • 歸零設計:X Y Z軸快速歸零設計,操作便利快速量測使用
  • 專用設計 :雷射極限安全裝置,防止務操作造成撞擊
  • 安全保護裝置 :標配防止下滑調節鬆緊裝置,以及隨機上限位元裝置,雙重保障
  • 供電系統 :內置100-240V全球通用寬電壓供電系統

探針卡專用檢查機常見採購問答

Q1 什麼是探針卡(Probe Card)?
在半導體與精密科技廠的檢測中,微小的顏色偏差或光學畸變都可能導致產品缺陷的誤判。
探針卡(Probe Card)是半導體製程中連接「測試機台」與「晶圓」的核心介面。在晶片切割與封裝前,它利用卡上的微小探針直接接觸晶圓上的接點,進行精密電性測試以篩出不良品,是確保先進製程與 AI 晶片良率的關鍵耗材。
隨著 AI、高效能運算(HPC)及先進封裝(如 CoWoS)的發展,晶片設計愈發複雜,帶動探針卡測試難度與需求顯著提升,探針卡逐漸從一般的測試耗材躍升為製程良率的靈魂。
Q2 G6540探針卡專用檢查機,如何提升產線品檢的操作體驗與效率?
  • 製程防護:在晶圓切割與封裝前,利用探針卡進行全晶圓接觸測試,提早剔除不良晶粒,避免後段封裝材料與工時的浪費。
  • 即時數據回饋:透過高頻探針卡測試,工程師能快速獲得電氣特性參數並微調前段製程,穩定整體晶圓良率。
  • 應對先進製程:隨著晶片朝向 3nm、2nm 發展,傳統懸臂針卡已不敷使用。導入具備微影製程技術的探針卡,不僅能實現極致微小的針腳間距,更能執行破萬針的高密度測試。
  • 高頻與散熱管理:高階探針卡優異的阻抗控制與主動熱管理,能解決先進晶片測試時產生的局部高熱問題,避免震碎矽晶圓或干擾測試訊號。
  • 提升自動化穩定度:結合測試治具,能避免人工接觸產生的操作失誤,使探針在下壓接觸時提供均勻一致的壓力,提升接觸穩定度並延長探針卡壽命。
  • 針痕檢測自動化:自動化設備可同時進行探針痕的光學與3D輪廓檢測,快速比對測試壓力是否適當、針尖是否有碎屑殘留,減少過去肉眼檢測的疲勞與時間消耗。
Q3 對於探針卡(Probe Card)廠與科技廠車間而言,G6540 的能如何保障設備安全?

探針卡檢測調針系統以半自動的方式輔助檢測人員正確及快速的判別PROBE CARD的異常狀況
像是針徑、針偏、針水平等,減少維修人員在尋找異狀的時間,同時可自動定位回報異常針位,供檢測人員快速了解異常狀況並且調整,提高檢修效率。發現瑕疵(比如刮痕、髒污、尺寸不對),就發出訊號,把不良品踢掉。

另一方面,程式化設定的方式,可快速的進行IQC進料檢驗,針對委外的探針卡品質進行檢測,有效提高生產效力。此設備最大的優勢在於輔助檢測人員在探針卡的檢修時間大大的縮減,以及穩定產品品質。

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